Мишени распыляемые из кремниевых резистивных сплавов. Технические условия.
Действие
С 01.01.1981
Страниц
9 (A5)
Описание
Настоящий стандарт распространяется на мишени из кремниевых резистивных сплавов, предназначенных для изготовления тонкопленочных резистивных элементов и различных вспомогательных слоев изделий электронной техники.